實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述：產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域建材,電子,汽車,電氣概要實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí)，使用干涉測(cè)量法。通過(guò)循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

產(chǎn)品型號(hào)：LEM-CT-670-G50
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2023-07-27
訪問(wèn) 量：979

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌

概要

實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí)，使用干涉測(cè)量法。通過(guò)循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

特征

兩種類型的激光器，可兼容大范圍的薄膜，包括SiN, SiO₂, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
終點(diǎn)檢測(cè)法的靈活應(yīng)用。
*的加工特點(diǎn)。

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：MICROPOLE系統(tǒng)殘余氣體分析儀
下一篇：DS-50系列電導(dǎo)率計(jì)（臺(tái)式）

實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀

概要

特征

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：